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飞行时间二次离子质谱仪在表面分析中具有很高的灵敏度。该方法利用一次离子激发样品表面微量二次离子,并根据二次离子飞向探测器的时间长短来确定离子质量。由于离子在TOF-SIMS中的飞行时间只与质量有关,所以它一次脉冲就可以得到全谱,离子利用率高,可以实现样品的静态分析。
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